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研究报告

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一种光刻板搬运机械手的PLC控制系统设计

一、光刻板搬运机械手PLC控制系统概述

1.系统背景及需求分析

随着半导体行业的快速发展，光刻技术在制造过程中扮演着至关重要的角色。光刻板作为光刻机中的关键部件，其质量直接影响到最终芯片的制造精度。因此，对光刻板进行高效的搬运处理成为提高生产效率和产品质量的关键环节。在传统的人工搬运过程中，由于人力成本高、搬运速度慢、且容易产生误差，已经无法满足现代半导体产业对高精度、高效率生产的要求。

针对这一现状，本研究旨在设计一套基于PLC的光刻板搬运机械手控制系统，以提高光刻板搬运的自动化程度和精确性。系统需求分