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2025年半导体设备五年技术瓶颈报告

一、项目概述

1.1项目背景

（1）半导体设备作为全球信息产业的“基石”，其技术水平直接决定了芯片制造的能力边界，进而影响着人工智能、5G通信、物联网等前沿领域的发展进程。近年来，随着摩尔定律逼近物理极限，先进制程向3nm及以下节点推进，半导体设备的技术复杂度呈指数级增长，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等核心设备的研发难度不断突破人类现有技术认知边界。与此同时，国际地缘政治冲突加剧了半导体产业链的分化，设备出口管制、技术封锁等措施使得全球半导体设备供应链面临重构，技术瓶颈问题从单纯的产业挑战上升为国家战略安全议题。在此背景下，系统梳理未来五年半导体设