《EJT 1242-2017晶闸管辐射工艺技术要求》专题研究报告深度.pptx

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;目录;前瞻产业趋势:辐射工艺如何引领第三代半导体功率器件进阶之路?;;微观世界的“精确雕刻”:载流子寿命与缺陷工程的物理机制;能量与剂量的博弈:不同辐射源(电子/质子/中子)的特性与选择逻辑;从缺陷到性能:辐射引入缺陷与电参数(tq,VTM,dv/dt)的定量关联模型;;辐照前“体检”:晶闸管初始参数测试与工艺适应性评估要点;;辐照后“唤醒”与稳定:退火工艺的机理、程序与参数优化策略;;静态参数的“微调艺术”:通态压降(VTM)与漏电流(IDRM)的平衡之道;动态能力的“质的飞跃”:关断时间(tq)、dv/dt、di/dt耐受能力的强化机制;可靠性指标的“终极考验”

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