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压阻式微压力传感器结构参数设计王峰。等

压阻式微压力传感器结构参数设计

PressureSensor

oftheStructuralParametersforPiezoresistiveMicro

Design

互碑谭晓差旅敏磊

(北方工业大学机电工程学院，北京100041)

kPa的微压力

摘要：在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上，根据传感器的灵敏度与线性度特点，设计了一种量程为200

传感器。在满足计算要求的条件下，对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真；并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这

些参数的最佳值。仿真结果表明，该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。

关键词：微压力传感器灵敏度线性度ANSYS仿真可靠性

中图分类号：TP212+．I文献标志码：A

onthestructuralofthemicrototheandofthe

Abstract：Basedsensitivitysensor，

parameterspiezoresistivepressuresensor。accordinglinearity

sensorwith200kPaistheconditionoftheis

themicrorequirements，each

pressurerangedesigned．Undermeetingcalculatingparameter

thevaluesoftheseareselectedinaccordSLrlCewiththeandtheof

simulateddegree

byANSYS，andoptimumparameterssensitivity，linearity

forresultsofthesimulationshowthatthemethodacertainreferencevaluefor

difficultyfabricatingprocess．Thedesignpossessesresearching

andmicrosensors．

manufacturingpressure

sensorANSYSsimulation

Keywords：MicropressureSensitivityLinearityReliability

所以在制作压阻式微传感器时选用硅作为材料。压阻

0引言

式微压力传感器的工作原理是利用硅的压阻效应，即

作为微型机电系统(micro．electromechanicalsystems，当在硅上施加某一方向的压力或拉力后，其材料的内

MEMS)设备的主流产品，微传感器具有体积小、响应快、部结构将发生变化。这一变化将造成内部结构扭曲，

功耗低、可靠性高、易于集成和智能化等特点．现已被广泛进而带来载流子相对能量的变化，使硅的固有电阻率