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GB/T26111-2023《微机电系统(MEMS)技术术语》(2026年)深度解析:洞见微观世界的秩序与未来;目录;;“MEMS”核心定义的演进与精准锚定:对比新旧版本,看国标如何深化“微机电系统”的本质认知;“微系统”与“MEMS”的辩证关系:国标术语如何厘清二者从属交叉与拓展的复杂逻辑;从“器件”到“系统”的术语阶梯:解读国标如何通过分级定义构建MEMS产品的完整技术描述框架;;尺度界限的术语界定:“微机电”与“纳机电(NEMS)”在标准中的分野与联系;;;;传感器分类术语的精细化:解读国标如何按物理量对MEMS传感进行科学系统的门类划分;;“传感执行一体化
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