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机械工程师MECHANICALENGINEER

机械工程师

MECHANICALENGINEER

新型纵向微位移补偿控制系统的研制

张成，闫艳燕，张琳

(河南理工大学机械与动力工程学院，河南焦作454000)

摘要：图像识别技术广泛应用于人脸识别、计算机视觉、机器人等许多领域。与目前的光栅位移传感器和激光干涉仪相比，

用图像识别的检测方法更方便、更低成本及更智能。为了实现新型纵向微位移机构水平方向运动的补偿，文中通过图像识别的方法，结合电子显微镜的拍摄和S-EYE$：5^的标记，搭建了微位移补偿的检测装置，通过TC5520V可编程运动控制器对机

构移动数值转换脉冲数值，构成纵向微位移补偿的闭环控制系统，改善了机械传动式微位移机构精度。

关键词:水平运动的补偿;图像识别；闭环控制系统

中图分类号:TP391.7 文献标志码:A 文章编号：1002-2333(2018)03-0052-03

DevelopmentofaNewLongitudinalMicro-displacementCompensationControlSystemZHANGCheng,YANYanyan,ZHANGLin

(SchoolofMechanicalandPowerEngineering,HenanPolytechnicUniversity,Jiaozuo454000,China)

Abstractrlmagerecognitioniswidelyusedinmanyfieldssuchasfacerecognition,computervisionandrobotandsoon.Comparedwiththecurrentgratingdisplacementsensorandlaserinterferometer,themethodofimagerecognitionismoreconvenient,cheaperandmoreintelligent.Inordertorealizethehorizontalmotioncompensationofanewtypeoflongitudinalmicro-displacementmechanism,thispaperconstructsamicro-displacementcompensationdeviceusingimagerecognition,theshootingofelectronicmicroscopeandthemarkofS-EYEsoftware.ProgrammablemotioncontrollerofTC5520Visusedtoconvertthenumericalvalueofpulseintothemovementofmechanism.Theaccuracyofmechanicaltransmissionmicrodisplacementmechanismisimproved.

Keyw〇rdscompensationofhorizontalmotion;imagerecognition;closed-loopcontrolsystem

0 引言

近年来伴随着电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，图像识别技术的应用领域也越来越广泛，尤其是在微位移领域得到广泛应用H。然而，在微位移领域中微位移补偿方法越来越多，目前微位移补偿方法主要有利用光栅位移传感器的方法，利用激光干涉仪的方法及利用图像识别的方法。考虑到光栅位移传感器对环境要求较高和激光

干涉仪的结构庞大，价格昂贵等问题％，本文基于图像识别的方法，结合电子显微镜的拍摄和S-EYE软件的标记，

搭建了微位移补偿的检测装置，通过TC5520V可编程运动 对图像中的噪声进行有效抑制，其实验原理是把数字图

控制器对机构移动数值转换脉冲数值，构成纵向微位移补像或数字序列中一点的值用该点的一个领域中各点值的偿的闭环控制系统，实现了新型纵向微位移平台的纵向微中值代替，从而消除孤立的噪声点。标记图像中值滤波效量进给，改善了机械传动式微位移机构精度。 果能够满足对标记图识别效果，同时能够有效地提取图

1基于图像识别的检测 像中的特征和位置信息，中值滤波去噪如图3所示。

7.7纵向位移机构位移标记图像的实现 图像分割就是将图像中我们感兴趣的目标与其背景首先将显微镜的镜头对准微位移机构