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全球市场研究报告
六甲基二硅氮烷(HMDS)是无色无毒、略带胺味的透明液体,是生产硅橡胶、硅油等有机硅下游产品不可
或缺的关键改性材料,能够显著提升有机硅材料的疏水、补强、延展性等性能,六甲基二硅氮烷还作为基团
保护剂用于部分抗生素、肝炎、肿瘤、艾滋病、心脑血管疾病等治疗药物的合成;此外,六甲基二硅氮烷作
为粘接助剂、清洗剂、抗蚀剂等用于半导体工业。六甲基二硅氮烷主要作为基团保护剂、活化剂用于药物合
成或制备有机硅化合物等。六甲基二硅氮烷的应用领域主要为医药、半导体、有机合成、硅橡胶等。
电子级六甲基二硅氮烷(HMDS)可以促进光刻胶在二氧化硅以及其他难粘结物质表面上的粘结。在涂上光
刻胶之前首先用旋转涂布法将其涂在硅片上。如果浓度较稀,再涂光刻胶之前可将其溶剂除去。电子级六甲
基二硅氮烷作为光致刻蚀剂的粘结助剂,是半导体行业的一种重要电子化学品,附加值较高。
六甲基二硅氮烷可用作光致刻蚀剂的粘结助剂用于光刻胶生产,其价值量是普通级别六甲基二硅氮烷的3
倍以上。2020年电子级六甲基二硅氮烷全球市场需求量3000吨左右。
新亚强电子级六甲基二硅氮烷产品质量处于行业领先水平,可满足半导体领域客户的差异化需求。电子级
六甲基二硅氮烷常被用作光刻胶助粘剂,对硅片进行表面改性。公司已突破电子级生产技术,产品纯度最高
可达到99.95%,特定杂质含量可降低至0.1PPB以下。全球半导体光刻胶市场规模大,2020年市场规模预
计15.5亿美元,并将保持年均9%的速度增长。2024年新亚强电子级六甲基二硅氮烷等电子级产品销售
收入在总营业收入中占比较小,约6%左右。
高纯度的电子级六甲基二硅氮烷(HMDS)可用作光致刻蚀剂的粘结助剂。根据华北光电技术研究所郭喜所
发表的《增黏剂(HMDS)在锑化铟光刻工艺中的应用》中分析,目前所用的光刻胶绝大多数是疏水的,而
晶片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,如果在晶片表面直接涂胶的话,势必会造成光刻胶和晶片的粘
合性较差,甚至造成局部的间隙或气泡,涂胶厚度和均匀性都受到影响,从而影响了光刻效果和显影效果。
为了解决这一问题,可将HDMS涂到硅片表面后,通过加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物,使硅片
表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起到偶合的作用。再者,在显影的过程中,由于它
增强了光刻胶与基底的粘附力,从而有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。因此作为半导体光刻
领域重要的刻蚀剂和胶粘剂,未来随着半导体光刻胶产品国产化进程加速,新亚强电子级产品有望进入该
领域成为重要供应商。除用作光刻胶助黏剂外,电子级六甲基二硅氮烷应用领域广阔,包括可作电子芯片行
业用于硅晶圆的表面改性,也可作为清洗剂用于半导体领域。
Copyright©QYResearch|market@|
全球市场研究报告
据QYResearch调研团队最新报告“全球电子级六甲基二硅氮烷市场报告2025-2031”显示,预计2031年
全球电子级六甲基二硅氮烷市场规模将达到1亿美元,未来几年年复合增长率CAGR为8.4%。
图.电子级六甲基二硅氮烷,全球市场总体规模
全球市场规模($Mn)
202020252031
来源:QYResearch电子及半导体研究中心
Copyright©QYResearch|market@|
全球市场研究报告
图.全球电子级六甲基二硅氮烷市场前6强生产商排名及市场占有率(基于2024年调研数据;目前最
新数据以本公司最新调研数据为准)
全球市场主要企业排名
Honeywell
Evonik
AirLiquide
新亚强
ChemconSpecialityChemi
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