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半导体设备制造2025年升级报告：技术突破.docx

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    一、半导体设备制造2025年升级报告：技术突破

    1.1技术背景

    1.2技术突破方向

    1.2.1纳米级光刻技术

    1.2.2新型晶体生长技术

    1.2.3先进封装技术

    1.2.4半导体设备国产化

    1.3技术突破带来的影响

    二、半导体设备制造产业链分析

    2.1产业链概述

    2.2原材料采购

    2.2.1硅片供应

    2.2.2光刻胶供应

    2.2.3电子气体供应

    2.3设备研发与制造

    2.3.1光刻机技术

    2.3.2刻蚀机技术

    2.3.3离子注入机技术

    2.4生产加工

    2.4.1芯片制造

    2.4.2封装测试

    2.5产业链协同

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