硅多晶用硅粉理化性能的测定 第1部分：有效硅含量的测定 重量法.pdfVIP

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CCSH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

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硅多晶用硅粉理化性能的测定

第1部分:有效硅含量的测定重量法

Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderfor

polycrystallinesilicon—Part1:Determinationofavailablesilicon

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（报批稿）

××××-××-××发布××××-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员

会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：新特能源股份有限公司、四川永祥股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江

苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司、

内蒙古鑫元硅材料科技有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任

公司、南开大学、内蒙古通威绿色基材有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司。

本文件主要起草人：邱艳梅、李冰清、刘国霞、赵晶晶、康俊勤、曹俊英、顾宗珍、王春明、耿全

荣、胡议允、陈彩霞、许盛之、徐顺波、李朋飞、侯海波、鲁文锋。

I

引言

工业硅粉广泛用于配制合金、制取高纯半导体材料和有机硅以及其他用途，是现代工业尤其是高科

技产业必不可少的材料，应用于硅多晶行业及相关产业。受全球新能源政策的推进，工业硅产业链得到

了迅猛发展。

随着产业的进步及行业的不断发展，对于原材料的管控也逐步细化，现有的验收标准已经不能满足

生产对于原材料控制的要求，不少硅多晶企业提出了更严格的指标参数，以控制硅粉原料的品质，杜绝

铸造杂质、反应过废硅粉掺入硅粉造成工艺大幅度的变化，影响硅多晶生产的稳定性。因此硅多晶用硅

粉的指标参数的增加有利于硅多晶生产工艺更好的控制。对于硅多晶用硅粉的指标，硅多晶企业提出增

加硅粉浊度、硅粉有效硅含量等参数的测定，以实现硅粉质量的全方位控制。

YS/TXXXX《硅多晶用硅粉理化性能的测定》是硅多晶用硅粉分析方法的系列标准，对提高硅多晶

生产技术能力和工艺控制水平，满足国内外市场需求有重要意义。

YS/TXXXX《硅多晶用硅粉理化性能的测定》拟由以下2个部分构成：

——第1部分：有效硅含量的测定重量法

——第2部分：浊度的测定散射光法

随着近年来硅多晶行业的快速发展，本文件的制定对于研究硅多晶用硅粉的理化性质、把控产品质

量有十分重要的意义，为质量升级提供技术支撑，具有较大的社会效益。

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硅多晶用硅粉理化性能的测定

第1部分：有效硅含量的测定重量法

1范围

本文件描述了重量法测定硅多晶用硅粉有效硅含量的方法。

本