深度解析(2026)GBT 31225-2014《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》.pptxVIP

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一、揭开超薄世界的神秘面纱:深度剖析GB/T31225标准如何精准定义与测量纳米级二氧化硅膜厚

二、从原理到实践:专家视角(2026年)深度解析椭圆偏振测量技术的核心光学模型与数学拟合精髓

三、测量前的精密战役:深度解读标准中关于样品制备、环境控制与仪器校准的关键预处理步骤

四、步步为营的操作法典:逐帧解析标准测量流程中的核心动作、参数设置与数据采集要点

五、数据背后的智慧:深度挖掘椭圆偏振测量中Ψ与Δ参数的物理意义与薄膜厚度反演算法

六、误差无处遁形:系统性解析测量不确定度的来源、评估方法及在质量控制中的应用

七、跨越材料的边界:探讨标准方法对非理想硅衬底及其他薄膜材料测

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