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SEM簡易操作SOP
HitachiS-3000H
(不含光圈及相差的校正)
中山大學機電系
黃聖倫、張桓
STEP1.開冰水機
•打開冰水機電源開關，必須維持於
冰水溫度於18~20度C。
•因為擴散幫浦油溫會加熱至160度，
所以維持冰水機正常運作非常重要。
•開機前，先開冰水機。
•關機時，真空幫浦冷卻(約需30分
鐘)後，才能關冰水機。
STEP2.開機器電源
•打開總電源，左側控制SEM
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