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スパッタコータE-1030操作マニュアル
第１版2007.03.28
注意点
禁止金属ターゲット部に手を触れないでください。
禁止CURRENTADJ.つまみ、VACUUMADJ.つまみは調整済みで
すので回さないでください。
注意使用後は、チェンバー内のガラス内面をエタノールで丁寧に
拭いてください。
注意使用後は、終了処理に従って、チャンバー内を真空引きした
状態で終了してください。
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