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Ion(magnetoron)sputter(HitachiE-1030)Operationmanual2014.6.5.
Thepreparationoftheinstrument
1.Inserttheplugintotheoutlet.
2.OpenthevalveoftheArgasbombe,byrotatinganticlockwisethevalveby180°.
3.Checkthepressureoftheregulat
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