原创力文档IGS
集成式供气系统
安全/精确/洁净
集成式供气系统/IntegratedGasSystems
IGS
产品特点
•适用于半导体行业的气体控制
•模块化设计
•所有组件均按照SEMI标准进行表面安装
•尺寸约为传统面板的1/3
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