2025年（微电子科学与技术）MEMS器件设计试题及答案.docVIP

2025年（微电子科学与技术）MEMS器件设计试题及答案

第I卷（选择题共40分）

答题要求：请将正确答案的序号填在括号内。每题2分，共20题。

1.MEMS器件设计中，以下哪种材料常用于微传感器的制作？（）

A.硅B.铜C.铝D.铁

2.微机电系统的英文缩写是（）

A.MEMSB.CMOSC.VLSID.PCB

3.在MEMS器件设计中，光刻技术主要用于（）

A.材料生长B.图形加工C.封装D.测试

4.以下哪种不是MEMS加速度计的工作原理？（）

A.压阻式B.压电式C.电磁式D.电容式

5.MEMS陀螺仪利用了以下哪种物理效应？（）

A.霍尔效应B.热电效应C.科里奥利力D.光电效应

6.对于MEMS微镜，其主要作用是（）

A.放大信号B.反射光线C.存储数据D.产生热量

7.MEMS麦克风的核心部件是（）

A.压电薄膜B.微结构C.电极D.外壳

8.在MEMS器件设计中，微流体通道通常采用什么方法制造？（）

A.机械加工B.光刻和蚀刻C.注塑成型D.3D打印

9.以下哪种MEMS器件可用于生物医学检测？（）

A.微电极阵列B.微齿轮C.微弹簧D.微泵

10.MEMS射频器件主要用于（）

A.功率放大B.信号滤波C.频率转换D.以上都是

11.当设计一个MEMS压力传感器时，主要考虑的性能指标不包括（）

A.灵敏度B.线性度C.功耗D.分辨率

12.用于MEMS器件的封装技术中，能提供较好的气密性的是（）

A.塑料封装B.陶瓷封装C.玻璃封装D.金属封装

13.MEMS器件设计中，有限元分析主要用于（）

A.器件建模B.性能优化C.工艺模拟D.故障诊断

14.以下哪种MEMS开关具有较低的功耗和较快的切换速度？（）

A.机械式开关B.静电式开关C.热式开关D.电磁式开关

15.MEMS传感器的输出信号通常是（）

A.数字信号B.模拟信号C.光信号D.声信号

16.在MEMS微纳结构设计中，纳米线的直径一般在（）

A.1-10nmB.10-100nmC.100-1000nmD.1-10μm

17.MEMS器件与集成电路集成时，需要解决的关键问题是（）

A.工艺兼容性B.功耗匹配C.尺寸适配D.以上都是

18.以下哪种技术可用于提高MEMS器件的可靠性？（）A.冗余设计B.材料改性C.优化封装D.以上都是

19.MEMS光调制器通过改变什么来实现光信号的调制？（）

A.光的强度B.光的频率C.光的相位D.以上都可以

20.设计MEMS传感器时，如何提高其抗干扰能力？（）

A.采用屏蔽技术B.优化电路设计C.改进封装结构D.以上都是

第Ⅱ卷（非选择题共60分）

一、填空题（每题2分，共10分）

1.MEMS器件设计流程主要包括需求分析、____、工艺设计、版图设计、制造与测试等步骤。

2.MEMS加速度计的灵敏度定义为____与加速度的比值。

3.光刻技术中的曝光光源波长越短，其能够实现的最小特征尺寸越____。

4.MEMS微流体系统中的微通道通常需要考虑____和流体阻力等因素。

5.用于MEMS器件的材料应具备良好的____、机械性能和化学稳定性等。

二、判断题（每题2分，共10分）

1.MEMS器件只能用于微小尺寸的应用场景。（）

2.所有的MEMS传感器都采用压阻式原理工作。（）

3.光刻工艺中，显影的目的是去除未曝光的光刻胶。（）

4.MEMS微机电系统的性能只取决于其微结构的设计。（）

5.金属材料不能用于MEMS器件的制造。（）

三、简答题（每题5分，共20分）

1.简述MEMS器件设计中如何提高传感器的精度。

___

2.说明MEMS射频器件设计时需要考虑的主要因素。

___

3.阐述光刻技术在MEMS器件制造中的重要性。

___

4.分析MEMS微流体器件设计中影响流体流动的因素。

___

四、选择题（每题2分，共20分）

1.以下哪种MEMS工艺可以实现高深