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芯片光刻胶封装材料项目(二期)
环境影响报告书
二○二五年九月
目录
第一章总论
1.1项目由来及建设必要性1-1
1.2编制依据1-5
1.3项目与相关产业政策及规范文件的符合性分析1-7
1.4项目建设规划和选址符合性分析1-22
1.5项目外环境关系1-39
1.6环境影响因子识别和筛选1-41
1.7评价因子、评价内容及重点1-42
1.8评价等级1-43
1.9评价范围、主要保护目标及污染控制目标1-52
1.10评价标准1-56
1.11工作程序1-60
第二章建设项目概况及工程分析
2.1建设项目概况2-1
2.2项目总平面布置的合理性分析2-13
2.3生产工艺及产污环节2-14
2.4主要设备及原辅材料、动力消耗2-36
2.5水平衡及物料平衡分析2-39
2.6项目污染物产生及治理2-42
2.7污染物总量控制2-77
2.8清洁生产2-80
第三章环境现状调查与评价
3.1自然环境概况3-1
3.2区域环境质量现状及评价3-10
第四章环境影响预测与评价
4.1施工期环境影响分析4-1
4.2运营期环境影响预测与评价4-6
第五章环境风险评价
5.1风险评价基本情况5-1
5.2环境风险识别5-5
5.3环境风险分析5-13
5.4项目采取的事故防范措施5-14
5.5项目环境风险防范措施5-19
5.6突发环境事件应急预案5-30
5.7环境风险措施及投资5-35
5.8环境风险评价结论5-36
第六章工程环保措施技术经济分析
6.1大气污染防治措施6-1
6.2水污染防治措施6-8
6.3固体废弃物处理措施论证6-10
6.4噪声防治措施6-11
6.5地下水污染防治措施6-12
6.6环境风险防范措施及应急预案6-13
6.7环保投资6-13
第七章环境影响经济损益简析
7.1效益分析7-1
7.2环境经济损益分析7-2
7.3结论7-3
第八章环境管理及监测计划建议
8.1环境管理8-1
8.2环境监测计划建议8-3
8.3监测质量保证与质量控制8-4
8.4运营期环境监理8-6
8.5企业排污口规范化要求8-7
8.6结论8-7
第九章结论和建议
9.1环境影响评价结论9-1
9.2要求与建议9-8
概述
一、项目由来
ULSI
随着超大规模集成电路()的迅速发展,芯片特征尺寸不断减小,器件
的集成度越来越高。当特征尺寸降低到亚微米级时,由线间和层间寄生电容引起
RC
的延迟、串扰、功耗已经成为限制器件性能的主要因素。研究和开发出性能优
异的低介电常数材料,以取代传统的SiO2介电材料(作为塑封料中的填充剂)是
解决上述问题的有效方法。苯并环丁烯(BCB)树脂由于其优异的热、机械和介
BCB
电性能,已成为高性能低介电材料的选择之一。此外,苯并环丁烯()树脂
与光敏剂混合后,也可直接应用于光刻加工工艺,获得清晰的图形。随着国内电
子、汽车等产业的迅猛崛起,对苯并环丁烯树脂的需求也在持续攀升,显示出巨
大的市场潜力。
在此背景下,绵阳高新区达高特科技有限公司拟在绵阳高新技术产业开发区
内,实施建设“芯片光刻胶封装材料项目”,项目主要是研发(仅性能测试与质检)
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