基于MEMS技术的SnO2氢传感器：制作工艺与电路设计的深度剖析.docx

基于MEMS技术的SnO2氢传感器：制作工艺与电路设计的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1氢气检测的重要性

氢气作为一种清洁、高效的能源，在全球能源转型中扮演着举足轻重的角色。在能源领域，氢气被视为未来能源体系的核心组成部分。在氢燃料电池中，氢气与氧气发生电化学反应，直接将化学能转化为电能，具有能量转换效率高、零排放等显著优点，被广泛应用于汽车、航空航天等领域。据国际能源署（IEA）预测，到2050年，氢能在全球能源结构中的占比有望达到20%以上，成为与石油、天然气等传统能源并驾齐驱的重要能源形式。

在工业生产中，氢气同样发挥着不可或缺的作用。在化工行业，氢气是