工业级光栅定位测量与控制系统设计.pdfVIP

2023

精密仪器课程设计

学长时一片苦心呀！！！！！各位！！！

要过本永哥的课，要拼人品！！！

精密工作的光栅定位测量与控制系统设计

姓名：陈XX

学号：B09XXXXXX

指导老师：陈本永、王丽敏

目录

第1部分国内外现实状况概述

一、研究背景与意义

二、国内外发展现实状况

第2部分总体方案设计

一、方案构思

二、运动范围和精度

第3部分测量系统设计

一、测量方案

二、光栅传感器

三、信号辨向细分

第4部分制措施设计

一、控制系统总体方案

二、执行元件

三、控制装置

第5部分测电路总体设计.

一、测控总体电路

第6部分总结与展望

参照文献

第1部分国内外现实状况概述

一、研究背景与意义

几何形状是客观世界中最广泛最详细口勺物质形态，儿何量就是表征客观物体大小、长短、形状

及位置的物理量。其中长度是几何量口勺基本参量，长度量H勺精密计量具有极为重要的意义。

目前，制造业省人化、自动化趋势进展迅猛异常，而测量作业在此过程中是不可或缺的关键环

节，它与生产加工和制品运送同等重要。当今世界，提高运行效率已成为制造业面临口勺重大课题，

制造技术也随之掀起了不停革新的浪潮。

近代机械工业尤其是现代超精密加工技术、微/纳米技术、微机电系统等於J兴起与发展对长度

量的测量提出了越来越高的规定。近儿十年来，伴随激光技术在精密位移测量中的应用，长度量的

工程测量技术有了8速的发展。

制造业是国家口勺支柱产业，是一种国家、一种民族赖以繁华昌盛的最主线的基础。世界各国都

十分重视制造科学和制造技术的研究,美国科学基金会将先进制造列入优先资助领域。目前,制造

科学和制造技术正向超精密、微细化方向发展，超精加工己成为先进制造日勺重要内容之一.

目前，超精加工进入纳米技术领域，具有纳米级辨别率的测量技术是超精加工中不可缺乏的

一环，也是急待处理H勺关键技术之一。纳米级日勺测试技术在现代武器装备的制造中有着非常重要的

作用。现代局部战争经体现出“高精度”口勺特点。例如，在海湾战争和空袭南斯拉夫的作战中，

美军大量使用激光制导炸弹。激光制导炸弹所需口勺激光跟踪，激光照射中许多激光元件如激光反射

镜、非球面透镜，其精度规定都很高，这些元件H勺加工质量将直接影响到制导的J精度。此