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2025-2030光刻机关键技术攻关与半导体设备国产化替代研究.docx

2025-2030光刻机关键技术攻关与半导体设备国产化替代研究.docx

    2025-2030光刻机关键技术攻关与半导体设备国产化替代研究

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、光刻机行业现状与发展背景 4

    1、全球光刻机产业发展现状 4

    等光刻技术应用现状与代际演进路径 4

    2、中国光刻机产业链基础与瓶颈 6

    上游核心零部件国产化率现状（镜头、光源、双工件台等） 6

    3、半导体设备国产替代政策推动现状 7

    国家重大科技专项与“02专项”实施成效分析 7

    地方政府配套支持政策与产业园区布局情况 9

    二、关键技术攻关路径与研发进展 11

    1、EUV光刻技术自主突破难点与应对策略 11

    极紫外光源（

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