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硅基光栅耦合结构封装集成技术：从原理到应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，光通信技术在现代社会中扮演着愈发重要的角色。在光通信系统以及众多光电子应用领域中，硅基光栅耦合结构作为关键组成部分，正受到越来越多的关注与研究。硅基材料具备诸多优势，如良好的化学稳定性、高机械强度以及与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺的兼容性，这使得硅基光电子器件能够实现高度集成化与小型化，从而有效降低成本并提高性能。

硅基光栅耦合结构的基本原理是基于光波导与光栅的相互作用，利用光栅的周期性结构对入射光进行衍射，从而实现光信号在自由空间与硅基光波导之间的高效耦合与传输。这种结构