原创力文档T/CMEEEAXXXX—2026
化学机械抛光（CMP）设备通用技术条件
1范围
本文件规定了化学机械抛光（CMP）设备的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和
贮存等内容。
本文件适用于半导体制造、光电材料加工等领域使用的化学机械抛光设备的设计、生产、检验和使
用。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
您可能关注的文档
- 《悬垂线夹成型锻造模具》（征求意见稿）编制说明.pdf
- 《悬垂线夹成型锻造模具》（征求意见稿）.pdf
- 《无人机载高光谱成像系统通用技术规范》征求意见稿.pdf
- 《无人机载高光谱成像系统通用技术规范》编制说明.pdf
- 《碳纤维复合芯光纤导线耐张线夹》（征求意见稿）编制说明.pdf
- 《碳纤维复合芯光纤导线耐张线夹》（征求意见稿）.pdf
- 《泰宁黄花菜》 编制说明.pdf
- 《双螺母滚珠丝杆副》（征求意见稿）编制说明.pdf
- 《双螺母滚珠丝杆副》（征求意见稿）.pdf
- 《输电钢管塔地脚螺栓精确定位装置》（征求意见稿）编制说明.pdf
- 2026年长春事业单位联考备考题库发布时间有完整答案详解.docx
- 2026广西北海市合浦县民政局招录城镇公益性岗位人员11人备考题库及答案详解（最新）.docx
- 2026江苏南京邮电大学招聘（人事代理）4人备考题库（第二批）精编答案详解.docx
- 2026年湖口县公安局交通管理大队公开招聘交通协管员备考题库完整答案详解.docx
- 2026年长春事业单位联考备考题库发布时间及一套答案详解.docx
- 2026年福建莆田市公安局城厢警务辅助人员招聘13人备考题库及参考答案详解1套.docx
- 2026广东佛山狮山镇大圃诚聘地理美术化学英语教师备考题库及答案详解（考点梳理）.docx
- 2026广东中山市公安局南头分局招聘辅警3人备考题库完整答案详解.docx
- 2026年芜湖市文化和旅游局所属事业单位公开招聘编外聘用人员备考题库及答案详解参考.docx
- 2026广西北海市合浦县纪委监委招录公益性岗位人员1人备考题库及答案详解1套.docx
最近下载
- 2025年演出经纪人后疫情时代国际演出物流的变革与趋势专题试卷及解析.pdf VIP
- 中招联合-项目经理全流程操作手册(1).docx VIP
- 2024年河北省石家庄市中考地理试题卷（含答案解析）.docx
- 煤矿安全工作汇报材料汇报材料.doc VIP
- 2025初中数学中考复习 专题15与圆有关的位置关系(3大模块知识梳理+9个考点+5个重难点+1个易错点)(原卷版).pdf VIP
- 2025年母婴保健技术资格证考试试题及答案.docx
- 2026届山西省侯马市中考押题数学预测卷含解析.doc VIP
- Sr掺杂分子印迹TiO2光催化剂的制备及降解羟苯乙酯性能研究.docx VIP
- 王力语言学史(一).doc VIP
- 输变电工程标准工艺（变电工程土建分册）2022版.pdf VIP
文档评论（0）