GB/T 14603-2025电子气体　卤化物气体.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT146032025

代替/—,/—等

GBT146032009GBT262512010

电子气体卤化物气体

—

ElectronicasHalideas

gg

2025-08-01发布2026-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT146032025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

本文件代替/—《电子工业用气体三氟化硼》、/—《电子工业用气

GBT146032009GBT146022014

体氯化氢》、/—《电子工业用气体高纯氯》、/—《电子特气三氯化

GBT189942014GBT178742021

》、/—《》,/—、/—、

硼GBT262512010氟和氟氮混合气体与GBT146032009GBT146022014

/—、/—、/—,,

GBT189942014GBT178742021GBT262512010相比除结构调整和编辑性改动外主要

技术变化如下:

———(,/—、/—、

更改了范围见第章的第章的第章

1GBT1460320091GBT1460220141

/—的第章、/