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三维微纳表面等离激元结构：加工技术与特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，三维微纳表面等离激元结构凭借其独特的光学特性，已然成为众多前沿领域的研究焦点，在光电子学、生物传感、能源等诸多关键领域发挥着不可替代的重要作用。当光照射到金属微纳结构表面时，金属中的自由电子与光子相互作用，产生集体振荡，进而形成表面等离激元。这种特殊的元激发不仅能够将光场限制在亚波长尺度范围内，还能实现光与物质相互作用的显著增强，展现出高度局域场增强、亚波长尺度的光场限制以及与金属表面的强耦合等一系列卓越特性。

从理论研究层面来看，对表面等离激元的深入探究，为人类理解光与物质在纳米