CN114114830A 基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN114114830A布日2022.03.01

(21)申请号202111002208.3

(22)申请日2021.08.30

(71)申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市江北新区宁六

路219号

(72)发明人倪海彬倪波刘慧研张思嘉常建华

(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224

代理人钱玲玲

(51)Int.CI.

GO3F7/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图7页

(54)发明名称

基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制

作方法

(57)摘要

CN114114830A本发明公开了基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，所述方法包括步骤：在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶，采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构；对圆环结构进行反应离子刻蚀，得到环形腔结构，并在环形腔结构内加入NOA之后揭下，得到周期圆柱；在周期圆柱上涂压印胶，待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构；对周期环形腔结构进行加热，加热后会改变环形腔结构上边缘的弧度以及圆柱的弧度，通过加热不同的时间使边缘产生不同的形变，再在周期环形腔结构镀铝膜；激发周期环形腔结构表面等离激元，从而在不同程度形变处显示出不同颜色。本发明基于金属环形腔

CN114114830A

CN114114830A权利要求书1/1页

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1.基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶，采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构；

对圆环结构进行反应离子刻蚀，得到环形腔结构，并在环形腔结构内加入NOA之后揭下，得到周期圆柱；

在周期圆柱上涂纳米压印胶，待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构；

对周期环形腔结构进行加热，再在周期环形腔结构镀铝膜；

激发周期环形腔结构表面等离激元，显示出不同颜色。

2.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，对周期环形腔结构进行加热的方法包括：在周期环形腔结构边缘使用二氧化碳激光器加热。

3.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，周期环形腔结构镀铝膜的方法包括：使用磁控溅射法在加热后的压印胶表面镀一层铝膜。

4.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，所述光刻胶为PMMA-A4正性光刻胶。

5.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，对圆环结构表面的光刻胶使用RIE刻蚀，选取CHF?作为刻蚀气体。

6.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，除去玻璃表面光刻胶的方法包括：

采用臭氧去离子水除去玻璃表面光刻胶。

7.根据权利要求6所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，在去除光刻胶时，使用的是臭氧溶于去离子水而获得的臭氧去离子水，雾化后喷淋于玻璃表面。

CN114114830A说明书1/4页

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基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法

[0001]

技术领域

[0002]本发明涉及一种基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，属于光学显示器技术领域。

背景技术

[0003]自然界中的昆虫和蝴蝶等就是主要通过薄片或多层结构的干涉、光栅衍射、光子晶体、光的散射等效应产生颜色，这种产生颜色的方法催生了结构色显示器领域。但结构色要进一步发展，面临的一个重要挑战是光衍射极限的限制。微纳金属结构制备技术的发展为突破衍射极限实现高分辨率提供了一个新的途径。金属微纳结构与光相互作用可产生表面等离激元共振(SPRs),SPRs可操纵光的偏振性、相位和强度，而且其次级衍射局域效应可以突破衍射限制，这使得金属微纳结构结构具备产生超高分辨颜色的能力。

[0004]传统的结构色显示器有几方面的限制：只能实现静态的结构色、缺乏大面积制备纳米结构的工艺、只能实现单一像素且颜色范围窄、分辨率低等。

发明内容

[0005]本发明的目的在于提供一种基于