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Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器制备与表征分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u2550Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器制备与表征分析案例 1
216991.1小尺寸MEMS压阻式压力传感器的版图设计 1
93061.2小尺寸MEMS压阻式压力传感器的工艺流程 2
249711.2.1临时热压键合 4
128741.2.2Bosch深硅刻蚀工艺 6
170361.2.3阳极键合 7
307121.2.4Sensordie,解键合 9
71841.3Ⅰ型SOI-MEMS压力传感器的表征与测试 11
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