CN111208650A 一种带检测功能的衍射光学镜片及其制作方法 （苏州中为联创微纳制造创新中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111208650A

(43)申请公布日2020.05.29

(21)申请号202010137708.7

(22)申请日2020.03.02

(71)申请人苏州中为联创微纳制造创新中心有限公司

地址215123江苏省苏州市工业园区金鸡

湖大道99号苏州纳米城20幢522室

(72)发明人王敏锐孙旭

(74)专利代理机构苏州简理知识产权代理有限公司32371

代理人杨瑞玲杨晓东

(51)Int.CI.

GO2B27/42(2006.01)

GO6K9/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种带检测功能的衍射光学镜片及其制作方法

(57)摘要

CN111208650A本发明公开了一种带检测功能的衍射光学镜片及其制作方法，包括：石英材料层，其具有光栅结构，并被设置的接收来自外部的光束；导电有机物层，其被设置的涂覆于所述石英材料层外表面；电极，其附着于所述导电有机物层表面；所述外部光束依次穿透所述石英材料层和导电有机物层，所述电极与监测电阻阻值的外部设备电连接。本发明所述衍射光学镜片在石英材质的衍射光学镜片发生破损时，有机物层的电阻发生变

CN111208650A

CN111208650A权利要求书1/2页

2

1.一种带检测功能的衍射光学镜片，其特征在于，包括：

石英材料层(6),其被设置的接收来自外部设备的光束，所述石英材料层(6)具有衍射光栅；

导电有机物层(8),其包括导电有机物，所述导电有机物涂覆于所述石英材料层(6)外表面，形成导电有机物薄膜；

电极(9),其附着于所述导电有机物层(8)表面，所述电极(9)与监测电阻阻值的外部设备电连接；

所述外部光束自衍射光栅的一侧依次穿透所述石英材料层(6)和导电有机物层(8)照射在被测物体表面，当所述石英材料层(6)破损时，所述外部设备通过电极监测到阻值变化，所述外部设备停止发射光束。

2.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述石英材料层(6)具有上表面以及与所述上表面相对且平行设置的下表面；

所述上表面具有若干阵列分布的沟槽，所述沟槽形成衍射光栅(10);

所述下表面上采用涂覆工艺涂覆有所述导电有机物。

3.根据权利要求2所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述涂覆工艺包括印刷、旋涂、喷涂和打印。

4.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述导电有机物层(8)为具有导电性的透明膜状；

所述导电有机物层(8)的导电有机物包括3,4-乙撑二氧噻吩单体；

所述导电有机物层(8)远离所述石英材料层下表面的表面上附着有多个电极(9)。

5.根据权利要求1所述的衍射光学镜片，其特征在于，所述导电有机物层(8)开设有通光孔(13);

所述外部光束自衍射光栅(10)的一侧穿透所述石英材料层(6)的区域为透光区域，所述通光孔(13)与所述透光区域对应设置，且所述透光区域的总面积小于所述通光孔(13)的开孔面积；

所述通光孔(13)通过喷墨打印方式形成；

所述电极(9)分布在所述通光孔外围。

6.一种带检测功能的衍射光学镜片的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1:清洗带有完整衍射光栅结构的石英材料层(6),在所述石英材料层(6)刻有衍射光栅(10)的一面的相对面，用涂覆工艺涂覆一层导电有机物；

S2:对步骤S1制得的涂覆有导电有机物的石英材料层进行热处理，获得导电有机物薄膜；

S3:对步骤S2制得的导电有机物薄膜进行蒸发处理，在所述导电有机物薄膜表面获得一层金属层；

S4:对步骤S3获得的金属层进行光刻，获得电极(9)。

7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，对于步骤S2所述的热处理，是对所述涂覆有导电有机物的石英材料层进行加热，

在50℃加热所述导电有机物，使其基本成型；

在120℃加热所述导电有机物，使其完全干燥成型，获得导电有机物薄膜。

CN111208650A权利要求书2/2页

3

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在120℃恒温加热所述导电有机物30分钟，获得导电有机物薄膜。

9.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，对于步骤S2所述的导电有机物薄