CN109300786A 瞬态电压抑制器及其制作方法 （深圳市南硕明泰科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN109300786A布日2019.02.01

(21)申请号201811167811.5

(22)申请日2018.10.08

(71)申请人深圳市南硕明泰科技有限公司

地址518000广东省深圳市罗湖区莲塘街

道罗沙路四季御园8座902

(72)发明人不公告发明人

(74)专利代理机构深圳市知顶顶知识产权代理有限公司44504

代理人马世中

(51)Int.CI.

H01L21/329(2006.01)

H01L29/861(2006.01)

H01L29/06(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图6页

(54)发明名称

CN109300786

CN109300786A

(57)摘要

本发明公开一种瞬态电压抑制器及其制作方法，该制作方法通过刻蚀第一导电类型的衬底并形成位于所述衬底内的正向沟槽；在所述正向沟槽内填充介质层；从所述衬底的侧表面刻蚀所述衬底并在所述衬底内形成延伸至所述介质层的侧向沟槽；在所述侧向沟槽内生长第二导电类型的外延层；在所述衬底的上表面和下表面分别覆盖第一金属层和第二金属层，从而形成瞬