原创力文档海翔科技#离子注入#应用材料
【海翔科技]】瓦利安VARIAN二手离子注入机300XP
梢于:本文取焦海翔和技失供的克去VARIAN二手高于注入机300XP，辣述其在半号体中
EEE
和并放水
一、引言
中能量高入12
五。再利安工
下时和于
，在保障核心工艺指标
卫生
二、核心系统构成
2.1离子源系统
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