18.【海翔科技】瓦利安VARIAN 二手离子注入机 CF 3000.pdf

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海翔科技#离子注入#应用材料

【海翔科技】瓦利安VARIAN二手离子注入机CF3000

稍于:本文取焦海攻和技提供的列安VARIAN二手商于注入机GF3000,阅述其在半导体

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和并放水

一、引言

高能可

生记和入辽-冰部计时估计着卫生到帮.评介.漳

区w在

二、核心系统构成

人.1高能离子源系统

设备措坟专用

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