原创力文档海翔科技#离子注入#应用材料
【海翔科技】瓦利安VARIAN二手元子注入机圆盘Disk
for160XP
区项本文国绕海着技提供的瓦利安VARIAN二手离子注人机回盘[Diskfor160XP)展
开，痢述其在离子注入机运行中的核心作用，分析结攀组成、功能作用、技术要求及二于回盘
芥信，为半导体设备维护提供参考、
一、引言
人
利去VARIAN160XP
加
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