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科文顿三维工艺仿真开发平台SEMulator3D®说明书用户手册.pdf

科文顿三维工艺仿真开发平台SEMulator3D®说明书用户手册.pdf

    CoventorSEMulator3D®三维工艺仿真开发平台

    1.平台简介

    Coventor公司开发的SEMulator3D®是一套三维工艺仿真软件，主要针对半导体和MEMS进行工

    艺集成仿真。这套软件基于三维立体像素技术，可以高效地对整套工艺流程进行建模和仿真。与

    传统工艺开发相比，SEMulator3D凭借其工艺模型的精确性和预测性可以显著地缩短开发周期和节

    省资本支出，从而帮助半导体厂商快而高效地将其最新半导体工艺技术推向大规模生产和市场。

    随着目前半导体器件和工艺逐步推进到先进的复杂三维结构，例如鳍式场效晶体管(FinFET),

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