ObRsim虚拟仿真shyyjscl说明书用户手册.pdf

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2020年度上海市级虚拟仿真实验教学课程

(原虚拟仿真实验教学项目)申报表

学校名称上海应用技术大学

实验教学项目名称半导体材料制备与加工的虚拟仿真

所属课程名称材料制备与加工实践

所属专业代码0800402

实验教学项目负责人姓名

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