CN102074371A 纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法 （清华大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102074371A

(43)申请公布日2011.05.25

(21)申请号201010623583.5

(22)申请日2010.12.30

(71)申请人清华大学

地址100084北京市100084-82信箱

(72)发明人王晓红申采为

(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司11246

代理人史双元

(51)Int.CI.

HO1G9/04(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法

(57)摘要

CN102074371A1本发明公开了属于微型储能器件及微电子机械加工技术领域，特别涉及一种纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法。该三维微型超级电容电极为在硅衬底上依次为二氧化硅绝缘层、金属电流收集引出层及电极活性材料层，形成三维立体结构的超级电容电极。制作方法是通过MEMS刻蚀工艺在硅衬底上形成长宽深比为一定比例的沟槽，将通过有机粘结剂将电极活性材料、导电增强剂粘结、在沟槽中堆积并形成自支撑电极，刻蚀侧壁形成对插的三维电极，本发明采用向垂直于芯片面积的第三维方向延伸的