SiC功率器件外延生长设备采购及工艺参数优化项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件外延生长设备采购及工艺参数优化项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件外延生长设备采购及工艺参数优化项目

建设单位

中科晶能半导体技术（苏州）有限公司于2024年3月18日在江苏省苏州市工业园区市场监督管理局注册成立，属有限责任公司，注册资本金8000万元人民币。核心经营范围包括半导体设备研发、制造、销售；半导体器件工艺技术开发、技术咨询、技术服务；电子元器件、半导体材料销售等（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

技术改造及研发升级项目

建设地点

江苏省苏州工业园区半导体产业园区内，该园区是国内半导体产业创新高地，聚集