CN101107713A 基于氮化物的晶体管的覆盖层和或钝化层、晶体管结构及制作方法 （克里公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200580047083.9

[51]Int.Cl.

HO1L29/778(2006.01)HO1L21/335(2006.01)

HO1L21/318(2006.01)

[43]公开日2008年1月16日[11]公开号CN101107713A

[22]申请日2005.8.31

[21]申请号200580047083.9

[30]优先权

[32]2004.11.23[33]US[31]10/996,249

[86]国际申请PCT/US2005/0312722005.8.31

[87]国际公布WO2006/057686英2006.6.1

[85]进入国家阶段日期2007.7.23

[71]申请人克里公司

地址美国北卡罗来纳州

[72]发明人A·W·萨克斯勒S·谢泼德R·P·史密斯

[74]专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人曾祥麦王忠忠

权利要求书10页说明书25页附图6页

[54]发明名称

基于氮化物的晶体管的覆盖层和/或钝化层、晶体管结构及制作方法

[57]摘要

2536栅接触部32欧姆接触部30阻挡层沟道层20衬底10欧姆接触部