CN101325093B 微型核电池制作方法 （西安电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101325093B

(45)授权公告日2011.08.24

(21)申请号200810150436.3

(22)申请日2008.07.23

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白路2号

(72)发明人张林郭辉张义门韩超张玉明

(74)专利代理机构陕西电子工业专利中心

孙国胜等.4H-SiC同质外延生长及Ti/4H-SiC肖特基二极管.《人工晶体学报》.2005,第34卷(第6期),

审查员叶红学

61205

代理人王品华黎汉华

(51)Int.CI.

G21H1/08(2006.01)

(56)对比文件

CN1961427A,2007.05.09,

CN1195883A,1998.10.14,

张玉明等.SiC肖特基势垒二极管的研

制.《半导体学报》.1999,第20卷(第11期),权利要求书1页说明书7页附图3页

(54)发明名称

微型核电池制作方法

(57)摘要

CN101325093B本发明公开了一种微型核电池，主要解决制作核电池易于SiC工艺实现的问题。该微型核电池是在N型高掺杂SiC衬底(1)的上下分别设有低