CN101487906A 电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的制作方法 （南京邮电大学）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200910024459.4

[51]Int.Cl.

G02B3/00(2006.01)

G02B3/14(2006.01)

G02B26/02(2006.01)

[43]公开日2009年7月22日[11]公开号CN101487906A

[22]申请日2009.2.23

[21]申请号200910024459.4

[71]申请人南京邮电大学

地址210003江苏省南京市新模范马路66号[72]发明人梁忠诚陈陶赵瑞毕岚

杨鹏李菁信恒杰

[74]专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司

代理人叶连生

权利要求书1页说明书4页附图3页

[54]发明名称

电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的制作方法

[57]摘要

一种电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的制作方法涉及一种新颖的电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的微型化和集成化制作方法，采用管状物体堆积并加热拉制来构成“上盖片(1)+内芯(3)+下盖片(2)”三明治透镜阵列夹心结构的内芯的集成制作。其主要步骤包括：1)内芯管状物体的堆积；

2)阵列内芯的拉制；3)电极制作；4)透镜介质封装。本发明将