CN101445218B 一种钛可动器件的制作方法 （北京大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101445218B

(45)授权公告日2011.05.04

(21)申请号200810241104.6

(22)申请日2008.12.30

(73)专利权人北京大学

地址100871北京市海淀区颐和园路5号北

京大学

(72)发明人陈兢赵刚

(74)专利代理机构北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙)11200

代理人李稚婷

(51)Int.CI.

B81C1/00(2006.01)

审查员李春亮

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

一种钛可动器件的制作方法

(57)摘要

CN101445218B本发明公开了一种钛可动器件的制作方法，利用等离子体刻蚀技术在钛基片上形成刻蚀深槽并进行填充，然后将其与另一衬底基片相键合，再从钛基片背面进行化学腐蚀和化学机械抛光减薄直至露出刻蚀深槽，去除刻蚀深槽中的填充材料，释放可动结构，从而加工出具有可动结构的钛微小器件。该方法可在多种衬底上实现金属钛的高精度、高深宽比三维加工，可用于加工多种MEMS器件，整个工艺使用的均是微电子加工方法，精度

CN101445218B

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