半导体设备冷却电子泵研发项目可行性研究报告.docx

半导体设备冷却电子泵研发项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

半导体设备冷却电子泵研发项目

建设单位

上海芯冷流体科技有限公司于2020年8月在上海市浦东新区张江高科技园区市场监督管理局注册成立，为有限责任公司，注册资本金6000万元人民币。核心经营范围包括半导体设备零部件研发与生产、流体控制设备制造、工业冷却系统设计及技术服务，是国内专注于半导体领域热管理解决方案的高新技术企业，已拥有12项实用新型专利、3项发明专利，产品通过ISO9001质量管理体系认证及半导体行业SEMI标准认证。

建设性质

研发及中试产业化

建设地点

上海市浦东新区张江高科技园区博云路2号（公司现有研