CN106953234B 硅基单片集成激光器及其制作方法 （上海新微技术研发中心有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN106953234B(45)授权公告日2024.01.09

(21)申请号201710078430.9

(22)申请日2017.02.14

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN106953234A

(43)申请公布日2017.07.14

(73)专利权人上海新微技术研发中心有限公司地址201808上海市嘉定区菊园新区胜竹

路1399号2幢9层930室

专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所

南通新微研究院

(72)发明人仇超龚谦武爱民高腾盛振甘甫烷赵颖璇李军

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师罗泳文

(51)Int.CI.

H01S5/323(2006.01)

H01S5/32(2006.01)

(56)对比文件

CN206931836U,2018.01.26

CN101383356A,2009.03.11

CN102545054A,2012.07.04

CN102243994A.2011.11.16

审查员关玉巧

权利要求书2页说明书7页