CN107034452B 柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN107034452B公告日2019.05.10

(21)申请号201710281202.1

(22)申请日2017.04.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107034452A

(43)申请公布日2017.08.11

(73)专利权人长春理工大学

地址130022吉林省长春市朝阳区卫星路

7089号

(51)Int.CI.

C23C18/12(2006.01)审查员刘琼

(72)发明人徐铭泽王洋李金华楚学影金芳军徐英明魏志鹏方铉王晓华

(74)专利代理机构长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210

代理人陶尊新

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

柔性掺杂型Zn0基透明导电薄膜的化学制作方法

(57)摘要

CN107034452B柔性掺杂型Zn0基透明导电薄膜的化学制作方法属于光电器件制作技术领域。现有物理方法制作成本高。本发明其特征在于：步骤1,配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4