CN114072915B 使用倾斜沉积和阴影壁的制造方法 （微软技术许可有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114072915B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号201980092131.8

(22)申请日2019.02.15

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114072915A

(43)申请公布日2022.02.18

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.08.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2019/0182842019.02.15

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020/167318EN2020.08.20

(73)专利权人微软技术