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面向精密定位的宏微复合驱动XY工作台设计及实验研究.pdf

面向精密定位的宏微复合驱动XY工作台设计及实验研究.pdf

    摘要

    摘要

    随着精密制造和显微操作领域的快速发展，现有XY工作台的性能已难以满

    足使用需求，尤其在兼顾大行程和高精度特性方面。因此，本文提出了一种宏微复

    合驱动XY工作台的结构设计方案，通过理论分析、仿真优化和实验测试开展了以

    下研究：

    （1）分析了国内外XY工作台的研究现状，总结了不同驱动方式的XY工作

    台的优缺点，提出了一种新型的宏微复合驱动XY

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