CN112216589B 使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法 (Asmip私人控股有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-09 发布于山西
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CN112216589B 使用同轴波导的等离子体装置以及基板处理方法 (Asmip私人控股有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112216589B

(45)授权公告日2025.05.13

(21)申请号202010655398.8

(22)申请日2020.07.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112216589A

(43)申请公布日2021.01.12

(30)优先权数据

62/872,1352019.07.09US

(73)专利权人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒

(72)发明人吉川润野泽俊久

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105

专利代理师王冉

(51)Int.Cl

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