CN105870181B 一种平面栅igbt及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN105870181B公告日2019.01.29

(21)申请号201610414453.8

(22)申请日2016.06.13

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN105870181A

(43)申请公布日2016.08.17

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人张金平陈文梅黄孟意田丰境刘竞秀李泽宏任敏张波

(74)专利代理机构成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232

代理人葛启函

(51)Int.CI.

HO1L29/739(2006.01)

HO1L29/417(2006.01)

HO1L21/331(2006.01)

HO1L29/423(2006.01)

(56)对比文件

CN102148240A,2011.08.10,DEA1,2005.01.05,US6384431B1,2002.05.07,CN