SiC功率器件光刻胶涂覆设备升级项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件光刻胶涂覆设备升级项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件光刻胶涂覆设备升级项目

建设单位

中芯微电科技（苏州）有限公司于2020年8月12日在江苏省苏州市工业园区市场监督管理局注册成立，属于有限责任公司，注册资本金伍仟万元人民币。主要经营范围包括半导体设备研发、生产、销售；集成电路设计；电子元器件制造；半导体技术服务；货物及技术进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

技术改造升级

建设地点

江苏省苏州工业园区半导体产业园内，园区位于苏州市东部，紧邻上海，地理位置优越，产业配套完善，是国内半导体产业集聚度较高的区域