SiC功率器件外延片清洗工艺优化及设备采购项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件外延片清洗工艺优化及设备采购项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件外延片清洗工艺优化及设备采购项目

建设单位

江苏晶芯半导体科技有限公司于2020年8月12日在江苏省无锡市新吴区市场监督管理局注册成立，属于有限责任公司，注册资本金伍仟万元人民币。主要经营范围包括半导体器件、集成电路、电子元器件的研发、生产、销售；半导体设备及配件的销售、技术服务；货物及技术进出口业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

技术改造及设备升级项目

建设地点

江苏省无锡市新吴区无锡高新技术产业开发区内，园区规划面积56.6平方公里，是国家级