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扫描填充低功耗测试技术：原理、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，集成电路（IntegratedCircuit,IC）作为电子设备的核心部件，其性能与功耗问题备受关注。随着半导体工艺技术不断向更小的特征尺寸推进，如从早期的微米级到如今的纳米级，芯片的集成度呈现出指数级增长态势。以微处理器为例，从最初的简单架构到如今包含数十亿个晶体管的复杂结构，其性能得到了极大提升。然而，这也带来了一系列严峻的挑战，其中测试功耗问题尤为突出。

在集成电路的测试过程中，过高的功耗会引发诸多严重问题。从测试设备的角度来看，高功耗对测试设备的电源供应和散热系统提出了极高要求