CN102110743A 局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法 （江苏林洋太阳能电池及应用工程技术研究中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102110743A

(43)申请公布日2011.06.29

(21)申请号201010567695.3

(22)申请日2010.12.01

(71)申请人江苏林洋太阳能电池及应用工程技

术研究中心有限公司

地址226200江苏省南通市启东市经济开发

区林洋路888号

(72)发明人魏青竹马跃陈文浚穆汉

(74)专利代理机构南通市永通专利事务所

32100

代理人葛雷

(51)Int.CI.

HO1L31/18(2006.01)

B41M1/12(2006.01)

B23K26/00(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法

(57)摘要

CN102110743A本发明公开了一种局部激光熔融磷硅玻璃制作选择性发射极太阳电池的方法，包括：将晶片表面织构化；利用热扩散进行磷扩散，同时在表面生成磷硅玻璃；通过局部熔融晶片，使激光扫描部位磷硅玻璃中的磷元素进一步扩散到晶片中去；进行边界隔离；去除激光熔融晶片过程中形成的损伤层；去除剩余磷硅玻璃；在前表