CN102473791A 受光元件的制作方法、受光元件制作装置 （独立行政法人科学技术振兴机构）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102473791A

(43)申请公布日2012.05.23

(21)申请号201080035324.9

(22)申请日2010.11.24

(30)优先权数据

2009-2678112009.11.25JP

(85)PCT申请进入国家阶段日

2012.02.09

(86)PCT申请的申请数据

PCT/JP2010/0068582010.11.24

(87)PCT申请的公布数据

WO2011/064993JA2011.06.03

(71)申请人独立行政法人科学技术振兴机构地址日本琦玉县

(72)发明人大津元一川添忠八井崇行武壮太郎

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127

代理人李辉黄纶伟

(51)Int.CI.

HO1L31/10(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图7页

(54)发明名称

受光元件的制作方法、受光元件制作装置

(57)摘要

本发明提供一种受光元件的制作方法，不需 进行材料的选定，即可容易制作使对特定的波长 具有敏感度的元件。该制作方法包括沉积工序， 在对构成P型半导体(14)、N